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联系人：陈康
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地址：江苏省无锡市滨湖区青龙山路青龙山工业园C区127-2号
用途：用于对晶圆铝膜镀层进行腐蚀，清洗处理
主要技术参数：
处理片架能力：4”5”6”晶圆片，2个片架/每工位
片架上下提拉：6~10次/分钟
片架槽底转动：40~50转/分钟
