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铝腐蚀清洗机

铝腐蚀清洗机

用途：用于对晶圆铝膜镀层进行腐蚀，清洗处理

主要技术参数：

处理片架能力：4”5”6”晶圆片，2个片架/每工位

片架上下提拉：6~10次/分钟

片架槽底转动：40~50转/分钟